Leak Test

Leak Test 혹은 가압 Test라 불리는 이 Test는 엔지니어를 하는 회사, 제조업을 하는 회사에서 많이 사용하고 있다. 나는 반도체 장비 엔지니어인데 이 Test를 종종 사용한다.

이 Test는 다음과 같은 이유로 사용한다.

 

1. 반도체 장비는 Chemical을 사용한다. Chemical을 사용하는데 Leak가 있다면?

그것은 안전에 심각한 영향을 미칠 수 있다.

2. 기능에 관한 문제를 Check 하기 위함이다. 예를 들어 0.5Mpa로 꾸준히 Utility가 공급되어야 하는데 Leak가 있다면? 기능을 완벽히 구연할 수 없다.

결론을 내리자면 결국은 안전과 기능, 기능과 안전을 위해서 Test 하는 것이다.

업체별로 Leak Test에 사용하는 Source가 다를 것이다. 나는 주로 PN2를 사용하고 있지만 보통 Air나 DIW를 가지고 하는 곳이 더 많다.

 

왜냐하면 PN2는 비싸기 때문이다. 그럼에도 왜 PN2를 사용할까? PN2는 우리의 주변에서 흔히 볼 수 있는 Air보다 순도가 훨씬 높다. 순도가 더 높다는 말은 그냥 더 깨끗하다 라고 이해하면 된다. 이 Test를 하기 위해서는 다음과 같은 부품들이 필요하다.

먼저 Test 하고자 하는 대상물 On/Off Valve, 그 다음 압력조절 Valve, 압력 Gage 등이 필요하다. 아래 Test Image 확인하고 Process를 보면 이해하기 쉽다.

 

Test Process

1. On/Off Valve를 Open하고 PN2를 약하게 넣어 준다. [연두색 라인으로 PN2가 투입]

2. 압력 Gage를 통해 압력이 어느 정도 인지 확인한다

3. 레귤레이터를 통해 테스트 설정압을 조절한다.

4. On/Off Valve를 Close한다.

5. 일정시간이 지날 때까지 압력이 얼마나 변하는지 확인한다.

대략적으로 위와 같은 방식으로 Test를 진행한다. 여기서 설정압력은 보통 Test 대상물의 재질에 따라 변화한다. 딱히 정확한 Test 규격이나 규정은 없다는 말이다.

 

아무튼 이 Test는 간단하지만 활용도가 매우 높다. 만약 공학도가 이 글을 읽고 있다면 훗날 어느 분야에 갈지 모르지만 꼭 알고 있기를 바란다. 생각보다 사용하는 분야가 많다.

[그리고 시간이 된다면 어떻게 Leak Point를 찾아내는지도 고민하면 좋다. 액체는 찾기 쉽지만 기체의 경우 미세Leak를 찾기 어렵다. 이것을 빨리 찾아내는 것도 기술이다.]

내가 있는 반도체장비 분야도 그렇고 다른 부품을 만드는 제조업체들도 아주 많이 사용하고 있다.