반도체장비 안전 인터락(Interlock)에 대한 개념

반도체 장비 안전 인터락(Interlock)에 대한 개념에 대해서 알아보자.

장비는 기능과 안전이 가장 중요한데 요즘 안전이 아주 강화되고

있는 추세다.  

 

안전 인터락에 대해서 전부 다루기는 어렵다. 하지만 장비회사에서 많이

사용하는 공통적인 인터락 부품과 개념에 대해서는 언급할 수 있을 것 같다.

 

특히 아래에 적을 3종류 인터락은 꼭 반도체 장비뿐 아니라 일반 장비에서

많이 사용하는 인터락 개념이니 관련 사람들에게 도움이 되기를 바란다.

 

반도체 장비 안전 인터락 종류

 

1. Door Interlock

 A. 개념 : Door Open 시 설비 Down

 B. 사용 부품 : Door Sensor or Key

 C. 상세 설명 : 예를 들어보겠다. 회전목마가 돌아가고 있고 주변에는 Door로 막혀있다.

 만약 Door가 없다면 누가 안으로 들어가다가 돌고 있는 회전목마에 치일 수 있다. 그런

 기에 Door를 설치하는 것이고 Door를 Open 할 시 장비가 멈출 수 있게 인터락을 설치한다.

 

2. Leak Sensor Interlock

 A. 개념 : 액체 Leak 감지 시 설비 Down

 B. 사용 부품 : Leak Sensor

 C. 상세 설명 : 반도체 장비는 Chemical을 많이 사용한다. 그런데 만약 Chemical이

 흐르는 곳에서 Leak가 발생해 사람에 닿는다면? 건강에 크게 영향을 미칠 수 있다. 

 또한 불산 같은 경우는 피부에 닿지 않더라도 Fume으로 사람의 생명을 위협할 수

 있다. 이런 상황을 알려주기 위해 Interlock을 사용한다. 

 

3. EMO or EMS

 A. 개념 : 비상상황 시 Button을 눌러 설비 Down

 B. 사용 부품 : EMO or EMS Button

 C. 상세 설명 : 장비 안에서 갑자기 위급한 상황이 생길 경우 누를 수 있게 설치한 Button.

 보통 노란색 바탕에 빨간색 버튼으로 된 경우가 많으며 EMO는 전원을 완전히 차단해

 장비를 Down 시키고 EMS는 전원은 살려놓지만 장비는 완전히 Down 시키는 것을 말한다.