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반도체장비 품질 업무/SEMI S2

SEMI S2 평가 내용

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앞에서 SEMI의 개념에 대해서는 설명을 했다. 혹시라도 SEMI S2에 대한 개념이 없이 바로 여기로 들어오신 분이 계신다.면 부디 앞에서 가서 SEMI S2의 개념을 알고 이 포스팅을 보기를 바란다. 기본개념이 없으면 봐도 아무 의미 없다.

SEMI S2의 개념 (tistory.com)

 

그럼 지금부터 SEMI S2에 대해서 세부적으로 한번 살펴보겠다. SEMI S2를 받는다 라는 말은 S1, S3, S6 S8, S10, S13, S14, S22가 자동적으로 같이 받는다 라는 의미로 이해하면 된다. SEMI S2안에 이것들이 포함되어 있는 것이다.

아 깜빡 했는데 내진설계 안전도 포함되어 있다. 내진설계는 검토 S2-19장에 들어가 있다.

 

그럼 위에 열거한 규격들이 무엇을 의미하는지 설명해 보겠다.

 S1: Safety Label을 붙여서 위험에 관한 경고를 하라는 것이다. 무엇인지 모르겠나? 간단하게 전기가 있는 곳에 감전 위험이라는 표지판 같은 것이 붙어있다. 그것과 마찬가지로 위험한 Chemical을 쓰는 곳에서 작업을 할 때는 반드시 안전보호구를 착용하고 하라는 표시를 붙이면 된다.

 

S3 : Liquid Heating, SEMI S2를 하면서 해본 적이 없어서 무엇인지 모르겠음.

 

S6 : 배기시스템을 평가한다. 예를 들자면 Chemical을 사용하는 설비의 경우 Chemical Fume이 나와 사람의 안전을 위험할 수 있는데 이것이 얼마나 안전한지 평가하는 것이다.

[불산이 흘러나왔을 때 불산액체에 의한 인명사고도 있지만 Fume에 의한 인명사고도 있다.]

 

S8 : 인간공학에 관한 평가. 사실 말은 거창한데 별 내용은 아니다. 컴퓨터 모니터가 사용자가 편하게 위치했는데 Door의 손잡이가 사람 손이 잘 들어가게 되어있는지 등을 평가한다.

 

S10 : 위험도 분석을 하라는 것이다. 그럼 어떻게 하라고? 라는 의문이 생긴다. 보통 고객사에서 배포하는 Common Spec을 만족하면 SEMI S10도 만족하게 된다. 즉 기구 설계자와 전장 설계자 제어 설계자들이내용을 만족하게 업무를 하면 된다. 사실 고객사의 Common Spec도 결국은 전문가들의 의견을 받고 만들어지는데 그 의견이 바로 SEMI나 기타 규격에서 요청하는 규격을 만족하게 만드는 것이다. 그러니 고객사에서 배포하는 Common Spec 사양서를 잘 검토해야 한다.

 

S13 : 기술문서를 작성하는 내용이라고 이해하면 된다.

 

S14 : 잔류화재위험을 분석하는 것이다. 앞서 말한 고객사의 Common Spec  잘 따르고 FM 판재+화재감지장치나 보호장치를 사용하면 큰 무리 없이 통과한다.

 

S22 : 전기안전 관련 부분으로 일단은 S22보다 납품하는 국가의 규격을 따라야 한다.

한국은 IEC 60204-1을 따라야 하며 미국으로 가면 NFPA 79 or UL 508을 따른다.

만약 장비에서 배기하는 부분이 하부에 있다면 자바라가 하부에 잘 들어가는지 확인이 필요하다. 특별히 어려울 것 없다. 열 배기 같은 부분에 자바라가 잘 들어 가는지 확인하면 된다.

 

위 내용들만 아셔도 현업에서 충분히 잘 해낼 수 있다

그리고 고객사에서 SEMI S2를 하라고 할 때 위에 있는 내용들 중 일부만 하라고도 하니 이점도 참고하시길 바란다.

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